最近，中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司自主研制的5納米等離子體刻蝕機(jī)經(jīng)臺(tái)積電驗(yàn)證，性能優(yōu)良，將用于全球首條5納米制程生產(chǎn)線。5納米（0.1毫米的二萬分之一），將成為集成電路芯片上的最小線寬。臺(tái)積電計(jì)劃明年進(jìn)行5納米制程試產(chǎn)，預(yù)計(jì)2020年量產(chǎn)?？涛g機(jī)是芯片制造的關(guān)鍵裝備之一，中微突破了“卡脖子”技術(shù)，讓“上海制造”躋身刻蝕機(jī)第一梯隊(duì)。

刻蝕機(jī)對(duì)精度的控制要求很高，方寸間近乎較限的操作。刻蝕尺寸的大小與芯片溫度有直接的關(guān)系，中微自主研發(fā)的部件使刻蝕過程的溫控精度保持在0.75攝氏度內(nèi)，達(dá)到水平。氣體噴淋盤是刻蝕機(jī)的核心部件之一，與進(jìn)口噴淋盤相比，其晶粒十分精細(xì)、致密，而且國產(chǎn)陶瓷鍍膜的噴淋盤使用壽命延長一倍，造價(jià)卻不到五分之一。

刻蝕機(jī)曾是一些發(fā)達(dá)國家的出口管制產(chǎn)品，但近年來，這種高端裝備在出口管制名單上消失了。這說明如果我們突破了“卡脖子”技術(shù)。明年，臺(tái)積電將率優(yōu)質(zhì)入5納米制程，已通過驗(yàn)證的國產(chǎn)5納米刻蝕機(jī)，預(yù)計(jì)會(huì)獲得比7納米生產(chǎn)線更大的市場份額。

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